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    氟油在愛德華螺桿真空泵上的應(yīng)用

    責(zé)任編輯:品雅真空設(shè)備 發(fā)表時(shí)間:2023-01-02 瀏覽:1,501 次

    蘇威氟油FOMBLIN DRYNERT 25/6具體性能如下:
      1、化學(xué)穩(wěn)定性:
    DRYNERT 25/6 化學(xué)性能非常穩(wěn)定,耐強(qiáng)酸,包括極強(qiáng)的路易氏酸,耐強(qiáng)堿。性能非常穩(wěn)定,與接觸的任何特種氣體如氟氣,SiH4等,強(qiáng)腐蝕性物質(zhì),強(qiáng)氧化劑,還原劑等均不發(fā)生反應(yīng)。
      2、不燃燒性:
    DRYNERT 25/6 分子結(jié)構(gòu)中不含氫元素,耐氧化,不會(huì)燃燒,無(wú)閃點(diǎn),無(wú)燃點(diǎn),可避免任何火災(zāi)的隱患,達(dá)到半導(dǎo)體行業(yè)安全性的要求。
      3、熱穩(wěn)定性:極低的蒸發(fā)率和降解率,能夠避免任何殘留物的形成而影響半導(dǎo)體工業(yè)中反應(yīng)室的純凈度及高真空度的維持。
      4、卓越的潤(rùn)滑性能:尤其在比較寬的操作溫度范圍,在高負(fù)載,高壓強(qiáng)的情況下,
    DRYNERT 25/6 均具有良好的潤(rùn)滑性能,能夠減少磨耗,尤其對(duì)于真空泵及壓縮機(jī)等設(shè)備維持優(yōu)良的運(yùn)行性能等等非常重要。
      5、粘度和蒸氣指標(biāo)穩(wěn)定可靠: 能夠保持極低的回流率,從而能夠持續(xù)地保證系統(tǒng)的高真空度。
      綜上所述,杜邦全氟聚醚產(chǎn)品-
    DRYNERT 25/6 真空泵油完全能夠滿足半導(dǎo)體工業(yè)的要求,尤其是針對(duì)半導(dǎo)體芯片加工過程中如刻蝕劑和沉淀過程中所面臨的特殊氣體,強(qiáng)腐蝕性化學(xué)物質(zhì),均能保證其操作的安全與可靠。
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